矽片拋光粉

矽片拋光粉

矽片拋光粉

晶圓是指用於製造半導體集成電路的矽晶圓。晶片可以被加工成各種電路元件結構。選擇合適的拋光粉很重要。

單晶矽片的研磨、拋光、減薄是矽片加工的重要工序。切割晶圓後,表面會有切割損傷和划痕。那個拋光工作是一個精確的拋光過程。

一般1200目、1500目、2000目白色氧化鋁粉作為矽片拋光粉作為研磨介質。拋光效果比較好。矽片表面無划痕,表面粗糙度可達10-20um。這為矽片基板研磨的鏡面拋光效果做好了準備。

海旭磨料的白色氧化鋁粉具有粒度均勻(PSD效果好)、硬度高、純度高等特點,避免了研磨拋光時大顆粒損傷表面的弊端。

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