片狀氧化鋁粉15um 20um用於砷化鎵晶片拋光
片狀氧化鋁粉15um20um適用於砷化鎵晶片拋光。品質接近Fujimi PWA15和Microgrit WCA15。由於氧化鋁顆粒的性質類似片狀體，所以又稱為板狀氧化鋁粉末。它是透過高溫煅燒並加入特殊添加劑，使氧化鋁具有片狀晶體結構，並儘量減少氧化鋁向α相的轉化，以確保其作為磨料粉、拋光粉的硬度和均勻性。片狀氧化鋁的特殊層狀結構，可防止晶圓研磨時產生刮痕，大幅提升晶圓的良率。
砷化鎵晶片拋光用片狀氧化鋁粉15um 20um特性：
- 海旭磨料生產的片狀氧化鋁粉與進口產品相比，可達到進口片狀氧化鋁粉的研磨效果。
- 晶形平整，無稜角，磨削時磨粒與工件間產生平面滑動作用，不易產生刮痕。
- 硬度高，磨削力強。板狀氧化鋁具有與剛玉α-Al2O3晶相相似的性能，適用於大多數材料的研磨和拋光。
- 磁性含量低、清潔度高、粒度一致性高。
- 熔點高、機械強度高、研磨效率高。
- 粒度可控，可從3至50微米。
- 顆粒的扁平性使片狀氧化鋁粉末易於分散，適合用來製作磨料或研磨液。
- 具有耐腐蝕性能，化學穩定性強，抗氧化性能優越，不會與研磨液中的液體介質發生反應。
- 由於電熔剛玉具有較大的比表面積、表面活性和附著力。
- 片狀氧化鋁容易分散，粉末不易在晶圓表面聚集，造成堆積，影響拋光光滑度。
用於砷化鎵晶片拋光的片狀氧化鋁粉末15um 20um的化學成分
| 物品 | 標準值 | 測試值 |
| 氧化鋁 | ≥99.5% | 99.60％ |
| 氧化鐵 | ≤0.04% | 0.032% |
| 二氧化矽 | ≤0.03% | 0.02% |
| 氧化鈉 | ≤0.2% | 0.15％ |
用於砷化鎵晶片拋光的片狀氧化鋁粉末15um 20um的物理特性
| 物品 | 標準值 | 測試值 |
| 比重(g/cm3) | 3.96-3.98 | 3.98 |
| 莫氏硬度 | ≥9 | 9.0 |
可用尺寸
| 規格 | D3(微米) | D50（一個） | D94（微米） |
| HXTA20 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
| HXTA15 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
| HXTA12 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
| HXTA09 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
應用：
- 半導體矽片、石英晶體材料的研磨。
- 砷化鎵、磷化銦、鈮酸鋰等化合物半導體材料的拋光。
- 藍寶石晶體的研磨和拋光等。
生產：
包裹：
10公斤/袋，20公斤/箱，1000公斤/托盤
常問問題
Q：氧化鋁粉的原產國是哪裡？
Q：片狀煅燒氧化鋁粉是中國產的。
答：此片狀氧化鋁粉可以取代FUJIMI PWA 15嗎？
Q：能達到和FUJIMI PWA 15一樣的研磨效果，性能大概是PWA15或WCA15的80-90%左右。
答：片狀氧化鋁是煅燒法還是熔融法製成的？
問：是經過1200度左右的煅燒工藝製成的。篩分與水處理工序位於同一電熔氧化鋁粉生產線上。
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